Przedstawiono analizę wielkości powierzchni emisyjnych polowych emiterów elektronów z azotków metali przejściowych TiN, VN i ZrN wytworzonych metodą BARE na matrycach z piramidek krzemowych. Analizę przeprowadzono posługując się tzw. arkuszem nachylenie-rzędna. W przypadku emiterów TiN i ZrN uzyskano zaskakująco małe powierzchnie emisyjne. Okazuje się, że z pozoru poprawne charakterystyki emisyjne mogą być skutkiem emisji z defektów warstw lub z zanieczyszczeń powierzchniowych, które mogą zmienić współczynnik wzmocnienia pola elektrycznego i pracę wyjścia.
EN
Analysis of the emission area of the field electron emitters arrays mad e of the transition metal nitrides: TiN, VN and ZrN is presented and discussed. The nitrides were made with BARE technique on the silicon microarrays. The analysis was conducted using the slope - intercept chart. In the case of the TiN and ZrN the emission area was unexpectedly small. It appears that the emission characteristics could be influenced by defective structures on the surface of the emitter. Such features could change the field enhancement factor and work function.
Broad argon ion beam from Kaufman type ion source has been used to alter a surface roughness of stainless steel. Measurements of main surface roughness parameters, related to both vertical (i. e. Ra Rz Rt) and horizontal (Sm, S) features of roughness profile, have shown the influence of ion beam incidence and ion dose on the parameters in question.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.