Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Szukaj
Przeglądaj
Pomoc
O nas

Ograniczanie wyników

1 Electron Technology
1 Prace Instytutu Technologii Elektronowej

1 2000
1 1998

2 Dumania P.
1 Domański K.
1 Gotszalk T.
1 Grabiec P.
1 Rangelow I. W.
1 Studzińska K.
1 Sunyk R.

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Department of Microelectronic Technology

100%

Dumania P.

1998

tom z. 2-4

26-38

3-D silicon micromachining for AFM/LFM microprobe development

38%

Grabiec P. , Domański K. , Dumania P. , Studzińska K. , Gotszalk T. , Rangelow I. W. , Sunyk R.

Electron Technology

2000

tom Vol. 33, No. 4

577-591

Results of work on the development of microprobes for the simultaneous Atomic/Lateral Force Measurements (AFM/LFM) are presented. AFM/LFM microprobes for surface characterization were modelled using FEM, designed and fabricated using 3-D silicon processing sequence. Finally microprobes were evaluated by using them for characterization of the test surfaces.