Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Ograniczanie wyników

1 Electron Technology

1 2000

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

In search for substrate materials for GaN epitaxy: optical properties of thin films of ZnO grown by atomic layer epitaxy

100%

Godlewski M. , Szczerbakov A. , Ivanov V. Y. , Ghali M. , Langer R. , Barski A.

Electron Technology

2000

tom Vol. 33, No. 3

416-420

We report successful growth of ZnO thin films by atomic layer epitaxy in the gas flow version. Properties of ZnO epilayers produced by four different ALE-procedures are compared. We further demonstrate the use of these ZnO films as thin buffer layers on top of Si and GaAs substarte materials. It is shown that covering either GaAs or Si substartes with thin ZnO layers makes them useful in the GaN technology. Optical properties of GaN films grown on ZnO buffer layers are discussed. These GaN films show several encouraging properties.