We disuss the use of secondary ion mass spectrometry (SIMS) as a powerful tool for diffusion studies in solids. The basic principles of SIMS are introduced and examples for oxygen diffusion and cation diffusion in oxides are given. It is shown that SIMS is capable of analysing diffusion profiles on a broad length scale, from some tens of nanometres to several hundred micrometres, which makes it possible to measure diffusion coefficients from ab out 10(-22) m2s(-1) to 10(-10) m2s(-1).
PL
W pracy przedstawiono zalety SIMS jako narzędzia badania dyfuzji w ciałach stałych. Omówiono zasady metody SIMS oraz przykłady dyfuzji tlenu i kationów w tlenkach. Wykazano, ze metodą tą można analizować profile dyfuzji w szerokim zakresie odległości, od dziesiątek nanometrów do setek mikrometrów, co sprowadza sie do mozliwości pomiaru współczynnika dyfuzji w zakresie od 10 (do -18 potęgi) cm kwadr. s-1 do 10 (do-6potęgi)cm kwadr. s-1.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.