Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  gettering
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
PL
W pracy określono zawartość żelaza międzywęzłowego (Fe i) w mc-Si po procesie geterowania fosforem oraz ujawniono występowanie akceptorowego poziomu rekombinacyjnego o energii aktywacji Ev = +0,338 eV stosując pomiary Laplace DLTS.
EN
The interstitial iron (Fe i ) content in multicrystalline silicon (mc-Si) after phosphorous gettering was determined and acceptor recombination level with activation energy Ev = +0.338 eV was detected by Laplace DLTS measurements.
2
EN
A number of gettering treatments of Cz-Si wafers have been investigated. The characteristic parameters of the wafers have been measured. Among the procedures used, the gettering treatment, which included deposition of Ge film, followed by ion beam mixing and thermal annealing was preferred. This treatment allows to increase the diffusion length (Ld) of non-equilibrium carriers from 25-30 µm to 100-300 µm. The subsequent treatments did not lead to deterioration of Ld as it took place for the wafers without gettering treatments.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.