Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: field emission display

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Mikroelektronika próżniowa

Górecka-Drzazga A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2009

Vol. 50, nr 1

58-62

W pracy przedstawiono aktualny stan wiedzy w stosunkowo nowej dziedzinie techniki nazwanej mikroelektroniką próżniową. Opisano właściwości miniaturowych urządzeń mikroelektroniki próżniowej, stosowane materiały i technologie. Przedstawiono podstawowe parametry oraz zastosowania miniaturowych źródeł elektronów, w których katodę stanowią matryce mikroemiterów polowych.

In the work, a state of the art of a relatively new field of technology, called vacuum microelectronics, is presented. Properties of the miniature devices of vacuum microelectronics, applied materials and processes of fabrication are described. The main parameters and applications of the miniature electron sources with field-emitters array cathode are presented.

Fabrication and properties of the field emission array with self-alignment gate electrode

Barth W., Dębski T., Rangelow I.W., Grabiec P., Studzińska K., Zaborowski M., Mitura S., Biehl S., Hudek P., Kostic I.

Journal of Telecommunications and Information Technology

2001

nr 1

49-52

A new method for the fabrication of field emission arrays (FEA) based on bulk/surface silicon micromachining and diamond-like-carbon (DLC) coating was developed. A matrix of self-aligned electron field emitters is formed in silicon by mean anisotropic etching in alkali solution of the front silicon film through micro holes opened in silicon oxide layer. The field emission of the fabricated emitter tips is enhanced by a diamond-like-carbon film formed by chemical vapor deposition on the microtips. Back side contacts are formed by metal patterning. Detailed Raman, Auger and TEM investigations of the deposited DLC films (nanocrystalline diamond smaller than 10 nm) will be presented. In this paper we discuss the problems related to the development of field emission arrays technology. We also demonstrate examples of devices fabricated according to those technologies.