Krzemowe piezorezystywne czujniki wielkości mechanicznych : teoretyczne i praktyczne aspekty modelowania i konstrukcji

• Autorzy: Gniazdowski Z.

Warianty tytułu

EN

Silicon piezoresistive sensors : theoretical and practical aspects of modelling and design

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Piezorezystywność jest zjawiskiem, w którym obserwuje się zmianę rezystywności materiału wraz z pojawieniem się w tym materiale naprężenia mechanicznego. W artykule przedstawiono wybrane problemy modelowania i konstrukcji krzemowych piezorezystywnych czujników wielkości mechanicznych. Omówiono m.in. tensory rezystywności, naprężenia i piezorezystywności, a także wybór optymalnej konfiguracji piezorezystora oraz identyfikację współczynników piezorezystywności.

EN

Piezoresistivity is a phenomenon when resistivity change is observed under mechanical stress. In his paper selected important problems related to modeling and design of silicon piezoresistive devices are presented. Both tensors of resistivity, stress and piezoresistivity, as well as derivation of optimal piezoresistor configuration and extraction of piezoresistance coefficient are presented.

Słowa kluczowe

PL

piezorezystywność; piezorezystor; współczynniki piezorezystywności

EN

piezoresistivity; piezoresistor; piezoresistance coefficients

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 11
• Strony: 125--131
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., wykr.

Twórcy

autor

Gniazdowski Z.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

Bibliografia

• [1] Auld B. A.: Acoustic Fields and Waves in Solids. Vol. 1, J. Wiley & Sons. New York London Sydney Toronto1973.
• [2] Nye J. F.: Własności fizyczne kryształów w ujęciu tensorowym i macierzowym, PWN, Warszawa 1962.
• [3] Block H. D.: Introduction to Tensor Analysis. Charles E. Merrill Books Inc. Columbus, Ohio 1962.
• [4] Smith C. S.: Macroscopic Symmetry and Properties of Crystals. Solid State Physics, vol. 6, Academic Press Inc., Publishers. New York and London, 1958
• [5] Smith C. S.: Piezoresistance Effect in Germanium and Silicon. Physical Review, vol. 94, no 1, Apr. 1954, pp. 42-49.
• [6] Gniazdowski Z.: Krzemowe piezorezystywne czujniki wielkości mechanicznych. Teoretyczne i praktyczne aspekty modelowania i konstrukcji. Instytut Technologii Elektronowej. Biblioteka Elektroniki, t. 30 ss. 1-197. Warszawa 2005.