Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Układy sterowania i przetwarzania sygnału z dźwigni piezorezystywnych wzbudzanych elektromagnetycznie

Kopiec D., Sierakowski A., Rudek M., Majstrzyk W., Grabiec P., Gotszalk T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2014

|

Vol. 55, nr 10

26-29

PL

W pracy przedstawiono dźwignie mikromechaniczne integrujące w swojej strukturze piezorezystywny detektor ugięcia oraz aktuator wychylenia. Tego rodzaju dźwignie mikromechaniczne stanowią atrakcyjne narzędzia stosowanie w mikro- i nanoskali do pomiarów bardzo małych sił, zmian masy, wychyleń, lepkości. Zintegrowany detektor oraz aktuator dają możliwość konstruowania mniej skomplikowanych systemów pomiarowych niż układy bazujące na optycznych oraz interferometrycznych detektorach wychylenia, zapewniając przy tym tak samo duże rozdzielczości pomiaru ugięcia. Zaprezentowane zostały również układy elektroniczne pełniące rolę urządzeń pomiarowych oraz sterujących pracą mikrostruktury. Wykorzystanie siły Lorentza umożliwia kontrolowane oraz powtarzalne manipulacje w nanoskali, z rozdzielczością dziesiątków nanometrów.

EN

The paper presents an micromechanical probe with integrated piezoresistive deflection detector and actuator deflection in its structure. Such micromechanical probes are attractive tools to use in micro- and nanoscale to measure very small forces, changes in weight, deflection, viscosity. Integrated detector and actuator allow to construct less complex measurement systems than systems based on optical and interferometric deflection detector, while ensuring the same high resolution measurement of deflection. Electronic circuits act as measuring devices, and controling the operation of the microstructure were also presented. The use of the Lorentz force allows controlled and reproducible manipulation at the nanoscale, with a resolution of tens of nanometers.

2

Pomiar szumów piezorezystywnych przetworników mikromechanicznych

Kopiec D., Nieradka K., Rudek M., Gajewski K., Sierakowski A., Grabiec P., Jóźwiak G., Gotszalk T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2013

|

Vol. 54, nr 10

51-55

PL

W pracy przedstawiono piezorezystywne mikromechaniczne przetworniki siły oraz zmian masy wykonane technologiami mikroelektronicznymi. Przedstawiona została ich zasada działania, główne źródła szumów występujących w tego rodzaju elementach oraz konstrukcja wzmacniacza do pomiaru szumów występujących w prezentowanych układach mikromechanicznych. Zaprezentowano także sposób doboru wzmacniaczy operacyjnych ze względu na poziom szumu występującego w systemie pomiarowym.

EN

In this paper we present micromechanical force and mass change transducer with integrated piezoresistive deflection sensor made with use of microelectronic technology. We present the principles of operation of these transducers and identified the main sources of noise that occur in this type of elements. Amplifier design is presented for the measurement of low-frequency noise and selection method of operational amplifiers because of the noise present in the measurement system.

3

Krzemowe piezorezystywne czujniki wielkości mechanicznych : teoretyczne i praktyczne aspekty modelowania i konstrukcji

Gniazdowski Z.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2007

|

Vol. 48, nr 11

125-131

PL

Piezorezystywność jest zjawiskiem, w którym obserwuje się zmianę rezystywności materiału wraz z pojawieniem się w tym materiale naprężenia mechanicznego. W artykule przedstawiono wybrane problemy modelowania i konstrukcji krzemowych piezorezystywnych czujników wielkości mechanicznych. Omówiono m.in. tensory rezystywności, naprężenia i piezorezystywności, a także wybór optymalnej konfiguracji piezorezystora oraz identyfikację współczynników piezorezystywności.

EN

Piezoresistivity is a phenomenon when resistivity change is observed under mechanical stress. In his paper selected important problems related to modeling and design of silicon piezoresistive devices are presented. Both tensors of resistivity, stress and piezoresistivity, as well as derivation of optimal piezoresistor configuration and extraction of piezoresistance coefficient are presented.