Dwuwymiarowy model hybrydowy domieszkowania do symulacji statystycznej układów scalonych

• Autorzy: Pfitzner A.

Warianty tytułu

EN

Two-dimensional hybrid modelling of doping for statistical simulation of integrated circuits

• Konferencja: Technologia elektronowa : ELTE' 2004 : konferencja naukowa (8 ; 19-22.04.2004 ; Stare Jabłonki, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono hybrydową metodę modelowania dla dwuwymiarowego przypadku dyfuzji poimplantacyjnej. Przybliżenia matematyczne koncentracji domieszek, oparte na dokładnych numerycznych rozwiązaniach równań transportu, uzupełniono zależnościami fizycznymi tych koncentracji od parametrów procesu.

EN

The hybrid modelling methodology for the two-dimensional case of the post-implantation diffusion has been developed. Mathematical approximations of the impurity concentrations based on accurate numerical solutions of transport equations are supplemented by physically related dependencies of these concentrations on process parameters.

Słowa kluczowe

PL

model hybrydowy; symulacja statystyczna; dyfuzja poimplantacyjna; aproksymacja koncentracji domieszek

EN

hybrid modelling; statistical simulation; postimplantation diffusion; approximation of impurity concentration

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 2-3
• Strony: 65--65
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., wykr.

Twórcy

autor

Pfitzner A.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Bibliografia

• [1] Mały W.: Computer-Aided Design for VLSI Circuit Manufacturability. Proc, of IEEE, 78, 356-392, 1990.
• [2] Kuzmicz W. et at: Coupling a Statistical Process-Device Simulator with a Circuit Layout Extractor for Realistic Circuit Simulation of VLSI Circuits. Proc, of SISDEP’93, 37-40, Wien 1993.
• [3] Pfitzner A.: A Methodology of Building Hybrid Models for Statistical Process/ Device Simulators in the 1C Design Systems. Proc, of MIXDES’96, 183-188, Łódź 1996.
• [4] Pfitzner A., Lejman A.: Fast Mixed Modelling of Doping for Statistical Process/ Device Simulation. Materials Science in Semiconductor Processing, 6, 21-26, Elsevier Sc. 2003.