BazTech - Yadda

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: approximation of impurity concentration

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Dwuwymiarowy model hybrydowy domieszkowania do symulacji statystycznej układów scalonych

Pfitzner A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2005

Vol. 46, nr 2-3

65-65

Przedstawiono hybrydową metodę modelowania dla dwuwymiarowego przypadku dyfuzji poimplantacyjnej. Przybliżenia matematyczne koncentracji domieszek, oparte na dokładnych numerycznych rozwiązaniach równań transportu, uzupełniono zależnościami fizycznymi tych koncentracji od parametrów procesu.

The hybrid modelling methodology for the two-dimensional case of the post-implantation diffusion has been developed. Mathematical approximations of the impurity concentrations based on accurate numerical solutions of transport equations are supplemented by physically related dependencies of these concentrations on process parameters.