Metoda detekcji optycznej przeznaczona dla membranowych krzemowych czujników ciśnienia typu MEMS

• Autorzy: Sareło K. , Drzazga A. , Dziuban J.

Identyfikatory

DOI

10.12915/pe.2014.11.35

Warianty tytułu

EN

Optical detection method suitable for diaphragm silicon MEMS pressure sensors

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono nową metodę optycznej detekcji opracowaną dla czujników ciśnienia typu MEMS. Wykonany technikami mikroinżynieryjnymi mikrosystem może być zastosowany do pomiaru ciśnienia w warunkach silnego pola elektromagnetycznego, wysokiej temperatury i silnego promieniowania jonizującego. Wstępne testy czujnika ciśnienia zintegrowanego z elementami systemu optycznej detekcji dały pozytywne wyniki.

EN

In paper a new optical detection method for silicon MEMS pressure sensors has been presented. Fabricated with using of the microengineering techniques microsystem is especially suitable for the pressure measurements in high temperature, high electromagnetic and high radiation environment. Preliminary testing of the pressure sensor integrated with components of the optical detection system has been successful.

Słowa kluczowe

PL

detekcja optyczna; czujnik ciśnienia; MEMS

EN

optical detection; pressure sensor; MEMS

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2014
• Tom: R. 90, nr 11
• Strony: 127--129
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., il., schem., wykr.

Twórcy

autor

Sareło K.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Zakład Mikroinżynierii i Fotowoltaiki, ul. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław

autor

Drzazga A.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Zakład Mikroinżynierii i Fotowoltaiki, ul. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław

autor

Dziuban J.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Zakład Mikroinżynierii i Fotowoltaiki, ul. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław

Bibliografia

• [1] G. Fragiacomo, K. Reck, L. Lorenzen, E. V. Thomsen, “Novel Designs for Application Specific MEMS Pressure Sensors”, Sensors 10 (2010) 9541-9563.
• [2] N. G. Wright, A. B. Horsfall, “SiC sensors: a review”, J. Phys. D: Appl. Phys. 40 (2007) 6345–6354.
• [3] E. Pinet, “Pressure measurement with fiber-optic sensors: commercial technologies and applications”, 21st International Conference on Optical Fiber Sensors, Proc. of SPIE Vol. 7753, 2011, 1-4.
• [4] J. Dziuban, K. Sareło, “Układ i sposób pomiaru obiektów odbijających światło, zwłaszcza detektorów promieniowania jonizującego”, zgłoszenie patentowe PL405836, 2013.