Przedstawiono wyniki badań funkcjonalizowanych chemicznie miniaturowych czujników impedancyjnych wykonanych w technologii krzemowej. Pomiary widm impedancyjnych i analiza elektrycznych modeli równoważnych sensorów zanurzonych w alkoholach wykazały występowanie relaksacji dielektrycznej w zakresie bardzo małych częstotliwości związanej z istnieniem dipolowych stanów energetycznych na powierzchni SiO₂/SAM/alkohol. Zaobserwowano korelację pomiędzy wartościami przenikalności elektrycznej alkoholi a pojemnością czujnika zmierzoną przy częstotliwości 1 MHz.
EN
The results of investigations of chemically functionalized miniaturized impedance sensors made on silicon were performed. Measurement of impedance spectra and analysis of the electrical equivalent circuit of sensors immersed in alcohols revealed the presence of dielectric relaxation in the range of very low frequencies. This relaxation was associated with the existence of dipole energy states on the surface of SiO₂/SAM/alcohol. There was a correlation between alcohol and the dielectric sensor capacitance measured at a frequency of 1 MHz.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.