Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Szukaj
Przeglądaj
Pomoc
O nas

Ograniczanie wyników

1 Optica Applicata

1 2002

1 Chocyk D.
1 Gładyszewski G.
1 Gładyszewski L.
1 Jaouen C.
1 Martin F.
1 Pieńkos T.
1 Prószyński A.

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Measurements of stress during ion irradiation

100%

Pieńkos T. , Gładyszewski L. , Chocyk D. , Prószyński A. , Gładyszewski G. , Martin F. , Jaouen C.

tom Vol. 32, nr 3

421-424

The exemplary results obtained with a simple optical set-up for the measurement of curvature radius during ion implantation are presented. The Kr ion irradiation was performed for silicon substrate without a film. After the irradiation the implanted region of silicon was under compressive stress. Maximum of the stress was evidenced for a dose of 1×1014 ions/cm2. The optical set-up is very flexible and may cooperate with various apparatus