Omówiono w zarysie procesy technologiczne otrzymywania składników cienkowarstwowych ogniwa CIS/CdS. Szczególnie scharakteryzowano proces RTP, kluczowy w wytwarzaniu warstw absorbera CIS, tj. chalkopirytu CulnSe2. Proces RTP umożliwia optymalne przeprowadzenie selenizacji przez szybkie wygrzewanie prekursorów metalicznych. Scharakteryzowano metodę kąpieli chemicznej CBD i omówiono właściwości otrzymywanych tą metodą warstw bufora CdS. Przedstawiono też proces technologiczny otrzymywania warstwy okiennej ZnO o kontrolowanym domieszkowaniu przez rozpylenie RF.
EN
Technological processes leading to the fabrication of thin film constituents of CIS/CdS photovoltaic heterojunction have been described. In particular the RTP process, crucial in obtaining the CIS absorber, i.e. CulnSe2 chalcopyrite, was characterized. The RTP processing enables effective selenisation of metallic precursors by very rapid annealing. The chemical bath deposition method CBD developed for obtaining thin film CdS buffer was also presented. The properties of the window ZnO layers with controlled doping, obtained by RF sputtering, were shortly described.
W pracy przedstawiono procedurę sterowania procesem termicznym w próżniowym urządzeniu RTP (Rapid Thermal Processing) do selenizacji warstw prekursorów CIS. Zastosowano podejście MBS (Model Based Steering) oparte na modelu matematycznym nieliniowych zjawisk radiacyjnego transportu ciepła. Zbudowana komora procesowa, metody pomiaru temperatury oraz realizowana trajektoria sterowania spełniają wymagania procesu selenizacji.
EN
This paper presents the procedure of thermal process Steering in vacuum RTP (Rapid Thermal Processing) device used for the selenisation of CIS precursor layers. MBS (Model Based Steering) approach, based on mathematical model of nonlinear radiative heat transfer, was applied. Constructed process chamber, methods of temperature measurement and generated Steering trajectory are meeting the requirements of the selenisation process.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.