W artykule przedstawiono analizę numeryczną procesu wytwarzania kryształów krzemu metodą Czochralskiego. Dla wyznaczenia wielkości związanych z turbulentnym transportem ciepła posłużono się trzema modelami turbulencji bazującymi na modelach k-ε (low-Reynolds number models). Wyniki obliczeń przedstawiono zarówno dla konwekcji naturalnej jak i konwekcji mieszanej związanej z ruchem obrotowym krysztahi oraz tygla. Przeanalizowano wpływ czynników zewnętrznych na pola prędkości oraz temperatury ciekłej fazy krzemowej.
EN
Numerical analysis was performed for the Czochralski growth process of silicon melt. Three models for turbulent convection were tested in order to simulate the turbulent quantities of the fluid motions. Each of the models was based on low-Reynolds k-ε model. Calculations were presented for the combination of buoyancy - driven flow and flow driven by crystal and crucible rotation. The influence of external parameters on the flow and temperature pattern of the melt was analysed.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.