W pracy przedstawiono wyniki badań właściwości warstw węglowych wytwarzanych metodą MW/RF PACVD. Dzięki różnym parametrom syntezy powłok istnieje możliwość sterowania uzyskiwanymi właściwościami pokryć w szerokim zakresie. Skonstruowana w Instytucie Inżynierii Materiałowej aparatura pozwala na syntezę zarówno warstw DLC (diamond-like carbon) jak i NCD (nanocrystalline diamond). Tego rodzaju pokrycia zostały dotychczas przebadane pod kątem zastosowania w obróbce skrawaniem [1,2], elektronice [3] oraz medycynie [4,5,6]. Aktualnie przeprowadzane prace mają na celu wykorzystanie wytwarzanych warstw UNCD w biosensorach. Zaprezentowane wyniki badań wskazują na szerokie możliwości zastosowania opisywanych pokryć.
EN
In this work, carbon films deposited using MW/RF PACVD method were investigated. The examinations of deposition have shown, that it was possible to produce coating with different properties, which depend on plasma parameters and applied gas mixtures. A dual mode microwave/radio frequency plasma system manufactured in the Institute of Materials Science and Engineering permits to obtain diamond-like carbon (DLC) and nanocrystalline diamond (NCD) coatings. Presented coatings have been investigated as protective layers onto cutting tools [1,2], in microelectronics [3] and biomedical applications [4,5,6]. The present work are carried out in order to check the UNCD coatings as biosensors. The results indicate that described carbon film can be used in many different types of applications.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.