Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Szukaj
Przeglądaj
Pomoc
O nas

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2005

1 Beck R. B.
1 Bieniek T.
1 Cuch M.
1 Jakubowski A.
1 Mroczyński R.

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: tlenko-azotek

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Stabilność termiczna ultracienkich warstw tlenko-azotków osadzanych metodą PECVD

100%

Mroczyński R. , Cuch M. , Bieniek T. , Beck R. B. , Jakubowski A.

tom Vol. 46, nr 2-3

62-63

Opracowanie poświęcone jest zbadaniu wpływu wygrzewania wysokotemperaturowego na właściwości elektrofizyczne ultracienkich warstw SiOxNy.

The aim of this work is the experimental study of the influence of high-temperature annealing on electro-physical properties of the ultrathin oxynitride layers.