Konwencjonalne, względnie tanie, mikroelektroniczne czujniki ciśnienia konstruowane są głównie z przeznaczeniem do pomiarów statycznych. Charakterystyki częstotliwościowe takich czujników nie są płaskie, wykazują szczyty rezonansowe. W artykule przedstawiono możliwości korekcji dynamicznej pozwalającej na kilkukrotne rozszerzenie zakresu częstotliwości w którym charakterystyka częstotliwościowa wypadkowa jest płaska. Podano wyniki badań dla kilku typów czujników.
EN
Common use microelectronic pressure sensors are normally not destined for measurement of dynamic pressures. Their frequency response is not flat and very often has a resonance due to acoustic properties of the sensor. The paper presents the possibility of frequency response correction leading to the extension of the flat part of the response upon the resonant frequency. Some practical results for three different microelectronic sensors are given.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.