We wstępie pracy omówiono zagadnienie konieczności detekcji gazów o bardzo niskich koncentracjach rzędu ppb. W dalszej kolejności dokonano analizy możliwości pomiaru niskich koncentracji gazów z użyciem chemosensorów półprzewodnikowych. W analizie wykorzystane zostały pomiary autorów z użyciem czujników zarówno dostępnych w ofercie rynkowej jak i wytworzonych w laboratorium. Aby uzyskać odpowiednie czułości przedstawione zostało rozwiązanie w postaci mikrosystemu, którego istotnymi elementami są, prekoncentrator i matryca półprzewodnikowych sensorów gazów. Opisano konstrukcję i działanie mikroprekoncentratora wytworzonego w technologii ceramicznej LTCC. Z użyciem wytworzonego prekoncentratora uzyskano współczynnik koncentracji rzędu 102 dla badanego gazu (benzenu).
EN
In the first part of the paper the necessity of measurements of very small gas concentrations, of order ppb, was discussed. In the following the possibility of measurements of small gas concentrations with the help of semiconductor chemosensors was analysed. In the analysis the measurements with both commercially available sensors and those fabricated in authors' laboratory were used. In order to obtain the expected sensitivity, the concept of a microsystem was introduced which consists of the preconcentrator and an array of semiconductor gas sensors. The design and working parameters of that rnicropreconcentrator manufactured in ceramic LTCC technology were described. For the preconcentrator the concentration factor of order 102 was obtained.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.