The article presents the results of work on the verification of the technological capabilities of the EB-Dual BEAM device in the field of complex coatings, including gradient coating Ti↑-Zr↓, multi-pattern coating Ti-Zr, and multi-layer coating Ti/Ti-Zr/Zr. The obtained coatings were subjected to an analysis of changes in the chemical composition by the EDS method as a function of distance from the surface and observations of brittle fracture using scanning microscopy in order to analysis their internal structure. It has been shown that the use of two independent electron guns provides the ability to differentiate the chemical composition of two-component coatings independently from the character of these changes, i.e. linear changes, and step changes.
PL
W artykule przedstawiono wyniki prac dotyczące weryfikacji możliwości technologicznych urządzenia EB-Dual BEAM w zakresie wytwarzania powłok złożonych, w tym: gradientowych Ti↑-Zr↓, wieloskładnikowych Ti-Zr oraz wielowarstwowych Ti/Ti-Zr/Zr. Wytworzone powłoki poddano analizie zmian składu chemicznego metodą EDS w funkcji odległości od powierzchni oraz obserwacjom przełomów z wykorzystaniem mikroskopii skaningowej, w celu oceny ich budowy wewnętrznej. Wykazano, że wykorzystanie dwóch niezależnych dział elektronowych zapewnia możliwość różnicowania składu chemicznego powłok dwuskładnikowych niezależnie od charakteru tych zmian, tj. zmiany liniowe, zmiany skokowe.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.