Noise diagnostics has been performed on the cold field-emission cathode in high-vacuum. The tested cold fieldemission cathode, based on tungsten wire with ultra-sharp tip coated by epoxy was designed to meet the requirements of transmission electron microscopy, which uses a small and stable source of electrons. Current fluctuations are reduced by improving the structure and fabrication technology. Noise was measured both in time and frequency domains, which gives information about current fluctuations and also about charge transport. Mutual correlation between the noise spectral density, extractor voltage and beam brightness was analyzed.
Wyniki pomiarów szumów małoczęstotliwościowych różnych obiektów stanowią cenne narzędzie diagnostyki jakości tych obiektów. W pierwszej części pracy przedstawiono system umożliwiający przeprowadzenie takich pomiarów oraz problemy zastosowania tego rodzaju diagnostyki w wykrywaniu wad montażu przyrządów półprzewodnikowych.
EN
Results of low frequency noise measurements of different kind objects present a valuable diagnostic tool for their quality evaluation. In the first part of the paper the measurement system and problems of noise spectroscopy application in detection of packaging defects of semiconductor devices and in wafer level noise measurements in the probe system have been presented.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.