Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Ograniczanie wyników

1 Tribologia

1 1999

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: nanomechanical testing

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Nanomechanical behaviour of silicon

100%

Rymuza Z. , Misiak M. , Grabiec P. , Rangelow I. , Sossna E. , Sunyk R.

Tribologia

1999

tom nr 3

397-409

Nanomechanical chracterization of N-type, P-type single crystal silicon and polysilicon engineering, structural materials for Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) was carried out and hardness and modulus of elasticity are given and discussed. The effect of crystal orientation ( <100> and < 111> ) on nano-scale mechanical behaviour of these materials is also considered. Comparison of nanoewar of single-crystal P-type silicon <100> and the ultra-thin coating of silicon dioxide on the same substrate is also included.

Przedstawiono wyniki badań nanomechanicznych krzemu krystalicznego typu N i P oraz polikrzemu jako materiałów konstrukcyjnych dla mikrosystemów (MEMS).Podano twardość oraz moduł sprężystości.Omówiono talże wpływ orientacji krystalicznej krzemu na jego własności mechaniczne. Zamieszczono porównanie nanozużycia krzemu typu P<100> i warstwy dwutlenku krzemu na tym samym podłożu krzemowym.