Scharakteryzowano piezoelektryczny napęd służący do wymuszania ruchu membrany krzemowej. Na podstawie otrzymanych wyników skonstruowano oraz zbadano model zaworu gazowego aktywowanego elektrycznie oraz model mikropompki cieczowej.
EN
Piezoelectric actuation of silicon membrane was investigated. On this basis, gas silicon valve and fluid micropump were designed and results of measurements are reported.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.