Prezentowany artykuł przedstawia opis modelu kompleksowego elektrostatycznej mikrostruktury grzebieniowej MEMS. Układ taki wykorzystywany może być jako przezroczysty przełącznik w sieciach optycznych DWDM. Przedstawiono opis modelu obwodowego oraz analizę mechaniczną z uwzględnieniem tłumienia w ośrodkach lepkich takich jak powietrze. Mikroprzełącznik charakteryzuje znikomymi oscylacjami podczas przełączania, przy odpowiednim doborze rozmiarów elementów sprężystych oraz elementów napędowych charakterystyka przełączania jest aperiodyczna.
EN
The presented paper describe complex model of electrostatic comb-drive microstructure MEMS. This system could be used for transparent optical cross connect for DWDM networks. This paper presents the description of a circuit model and mechanical analyses with viscous damping in viscous centers like air. The Microswitch has an aperiodic characteristic of switching.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.