Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: metoda SIMS

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Analiza składu chemicznego układu DLC/Si przy użyciu metody SIMS i spektroskopii elektronów Augera

100%

Staryga E. , Rogowski J. , Knapik M. , Jarzyńska D. , Cłapa M. , Rylski A.

Inżynieria Materiałowa

2006

tom Vol. 27, nr 5

1240-1243

Warstwy diamentopodobne (DLC) są atrakcyjnym materiałem ze względu na unikalne właściwości, takie jak duża twardość, odporność chemiczna oraz dobre przewodnictwo cieplne i elektryczne. Właściwości te są szeroko powiązane z procesem oraz parametrami osadzania warstw, a także powinny być skorelowane ze składem chemicznym oraz strukturą warstw. W celu analizy chemicznej warstw DLC osadzonych przy różnych parametrach procesu RF CVD (13,56 MHz) zostały użyte metody SIMS oraz AES. Warstwy DLC osadzone zostały na gładkim podłożu krzemowym. Nanoszenie warstw odbywało się przy zastosowaniu ujemnego potencjału autopolaryzacji elektrody w zakresie -60 V - -420 V. Tworząc profile głębokościowe analizie chemicznej poddano powierzchnię i objętość warstwy DLC oraz obszar granicy DLC/Si. W składzie chemicznym warstwy DLC oprócz węgla wykryto obecność wodoru i tlenu. Uzyskane metodami SIMS i AES profile głębokościowe wskazują na obecność zanieczyszczeń takich jak żelazo i chrom w obszarze rozdziału faz, pomiędzy podłożem a warstwą DLC.

Diamond-like carbon (DLC) films attract considerable interest due to their mechanical hardness, chemical inertness, thermal and electrical properties. Those properties are highly influenced by the deposition parameters and in turn should be correlated with chemical composition and structure of the DLC films. In this study the Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS) and Auger Electron Spectroscopy (AES) were used to analyze chemical composition of DLC films deposited at various preparation parameters. The DLC films were deposited on flat Si substrates using Radio Frequency Plasma Chemical Vapour Deposition (RFPCVD 13,56 MHz) method. Deposition of samples took place with different negative self-bias voltage of electrode between -60 V and -420 V. Both surface and bulk chemical composition were analyzed for all samples by acquiring surface mass spectra and performing depth profiles respectively. Carbon, hydrogen and oxygen in the DLC films were detected. Collected depth profiles showed that all samples were contaminated with considerable amount of Fe and Cr in the interface region of the substrate and deposited DLC film.

Badanie drobin pyłów atmosferycznych ze środowiska miejskiego i wiejskiego metodami SIMS i SSMS

100%

Konarski P. , Hałuszka J. , Ćwil M. , Kaczorek K. , Pisiewicz K. , Strugała-Stawik H.

Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika

2005

tom z. 153

89-93

Aiborne particles were collected in two different environments in Poland - in Legnica, a middle size town situated close to the big copper works and in rural site in the suburs of Krakow. Bulk analysis of particulate matter collected on quartz fiber filte5rs was performed using spark source mass spectroscopy (SSMS). Analysis of aerosol particles from urban and rural environments revealed differences in partial concentration of 20 selected elements. In urban aerosol collected in Legnica we found more: Pb, Cr - 20 times than in the rural environment and As, Sr - 10 times, Co - 7 times, Cl -5 times, V, Y - 3 times, Ti, Mn, Cu, Se - 2 times and Fe, Ni, Zn, Br, Zr, Mo almost two times more than in the rural environment. Secondary ions mass spectrometry (SIMS) depth profile analyses were performed for samples of aerosol particles collected at Al-foils with the use of nine-stage rotating plates cascade impactor. SIMS results obtained with the use of 5 keV Ar(+) ion sputtering show "core-shell" structure of urban and rural particles dependent of their grain size in the range of 300 nm tu 15 um. Ultra fine (300-500 nm dia) rural particles have shell layers enriched in iron and manganese, while such enrichment is observed for coarse (5-10 um dia) urban particles.