Do generacji fal ultradźwiękowych typu Lamba w membranach wykonanych na podłożach krzemowych stosowane są często międzypalczaste przetworniki piezoelektryczne (IDT). Pole elektryczne w warstwie piezoelektrycznej przetwornika ma decydujący wpływ na jego właściwości. Analizowano rozkład pola elektrycznego w cienkich warstwach piezoelektrycznych naniesionych na membrany krzemowe. Na podstawie przeprowadzonej analizy zaproponowano model przetwornika do generacji fal Lamba.
EN
The interdigital piezoelectric transducers (IDT) are used in the microsize membrane silicon sensors to the generation of the ultrasonic Lamb-type waves. The distribution of the electric fields in thin piezoelectric layers deposition on the silicon membranes was analysed.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.