Przedstawiono metodę i interferencyjny czujnik do pomiaru wzajemnych mikroodchyleń kątowych wiązki laserowej i czujnika. Przeanalizowano wybrane konfiguracje układów optycznych. Oceniono wpływ błędów wykonania elementów optycznych w wybranym układzie interferometru.
EN
Method and the interference sensor for measuring micro-deviations of a laser beam in relation to the sensor is presented. Selected configurations of optical system are analyzed. Influence of fabrication errors in optical components in the selected layout is presented.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.