Otrzymano amorficzne warstwy tlenku baru za pomocą metody MOCVD (Metal Organie Chemical Vapour Deposition) z wykorzystaniem związku Ba(tmhd)2. Sprawdzano wpływ temperatury parowania w/w związku metaloorganicznego na jakość otrzymanych warstw BaO. Dodatek do Ba(tmhd)2 etanolu lub dichlorometanu (CH2C12) znacznie poprawił wydajność parowania tego związku. Otrzymane warstwy zostały zbadane za pomocą skaningowego mikroskopu elektronowego z mikroanalizatorem rentgenowskimten oraz aparatu rentgenowskiego.
EN
Amorphous barium oxide layers on quartz glass substrate were synthesized by MOCVD (Metal Organic Chemical Vapour Deposition) method using metalorganic compounds of barium. The influence of the evaporation temperature was investigated. Interaction with ethyl alcohol or dichloromethne improved evaporation of Ba(tmhd)2. Obtained layers were tested by scanning electron microscope, EDS, X-ray apparatus
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.