We present the results of the technological preparation of thin films of nitrides, which allow obtain higher surface hardness and very important magneto-resistance properties, when composed in superlattices. The enhanced hardness of such multilayers was 82 GPa and MR more as 80%.
PL
Przedstawiono wyniki technologiczne i właściwości cienkich warstw azotków chromu, tytanu i niobu. Warstwy były otrzymywane przez reaktywne rozpylanie magnetronowe. Warstwy osadzane na podłożu z monokrystalicznego krzemu wykazywały twardość kompozytu w postaci supersieci równą ~ 82 GPa a magnetorezystancję - 80% lub więcej.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.