The article presents the basic trends towards development of interference methods of surface topography assessment. A short review of interference methods of surface topography assessment on the basis of the phase stepping interferometry technique is produced. The options of surface topography assessment by interference methods are screened. The limits and the fundamental metrological parameters for these methods are laid down. The way to modernize the measuring apparatus being operated in Poland is also presented. An interference measuring system designed for surface topography assessment, as an example of such modernization, is presented. This system enables us to produce topographic maps and isometric surface pictures. Sample experimental results brought about by means of this system are shown herein.
PL
W artykule przedstawiono główne kierunki rozwoju interferencyjnych metod oceny topografii powierzchni. Dokonano krótkiego przeglądu interferencyjnych metod oceny stereometrii powierzchni opartych na technice dyskretnej zmiany fazy. Przedstawiono podstawową ideę oraz teoretyczne podstawy techniki dyskretnej zmiany fazy w zastosowaniu do oceny nierówności powierzchni. Idea ta polega na zarejestrowaniu sekwencji interferogramów badanej powierzchni, przy czym kolejne interferogramy rejestruje się po wprowadzeniu do jednej z interferujących fal świetlnych dodatkowych, dyskretnych zmian fazy. Przeanalizowano także możliwości oceny topografii powierzchni metodami interferencyjnymi z wykorzystaniem istniejących systemów pomiarowych. Podano ograniczenia oraz podstawowe parametry metrologiczne tych metod. Pokazano także sposób modernizacji istniejącej w kraju aparatury pomiarowej. Jako przykład takiej modernizacji, przedstawiono interferencyjny system pomiarowy przeznaczony do oceny topografii powierzchni. System ten zawiera zmodyfikowany, dwuzwiązkowy mikrointerferometr, kamerę TV, komputerowy układ akwizycji obrazów interferencyjnych oraz oprogramowanie przeznaczone do przetwarzania i analizy interferogramów. Pozwala on na tworzenie map warstwicowych oraz izometrycznych obrazów powierzchni. Zamieszczono przykładowe wyniki badań doświadczalnych, uzyskane za pomocą tego systemu.
Many precision devices, especially measuring devices, must maintain their technical parameters in variable ambient conditions, particularly at varying temperatures. Examples of such devices may be super precise balances that must keep stability and accuracy of the readings in varying ambient temperatures. Due to that fact, there is a problem of measuring the impact of temperature changes, mainly on geometrical dimensions of fundamental constructional elements of these devices. In the paper a new system for measuring micro-displacements of chosen points of a constructional element of balance with a resolution of single nanometres and accuracy at a level of fractions of micrometres has been proposed.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.