Przedstawiono opis modelu kompleksowego elektrostatycznej mikrostruktury grzebieniowej MEMS. Układ taki wykorzystywany może być jako przezroczysty przełącznik w sieciach optycznych DWDM. Przedstawiono opis modelu obwodowego oraz analizę mechaniczną z uwzględnieniem tłumienia w ośrodkach lepkich takich jak powietrze. Mikroprzełącznik charakteryzuje znikomymi oscylacjami podczas przełączania, przy odpowiednim doborze rozmiarów elementów sprężystych oraz elementów napędowych charakterystyka przełączania jest aperiodyczna.
EN
Described is the complex model of an electrostatic comb-drive microstructure MEMS. Such a system can be used as a transparent optical cross-connect in DWDM networks. Presented is description of a circuit model as well as the mechanic analysis considering damping effect in a viscous medium like air. The microswitch is characterized by minimal oscillations during switching and when elastic elements dimensions and drive elements are properly selected, its switching characteristic becomes aperiodic.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.