Przedstawiono metodykę określania czasu życia nośników ładunku, wykorzystującą pomiar absorpcji optycznej nośników swobodnych w podczerwieni, pozwalającą na szybki, bezdotykowy i przeprowadzany z dużą rozdzielczością przestrzenną pomiar tego głównego parametru rekombinacyjnego. Metodyka ta uzupełnia dotychczas stosowane bezdotykowe metody pomiarowe czasu życia nośników ładunku stosowane w diagnostyce przemysłowej a może znaleźć szczególne zastosowanie do charakteryzacji multikrystalicznego krzemu.
EN
A method of charge carrier lifetime determination by using free carriers absorption measurement is presented. The method is quick, contactless and has good spatial resolution. It complements known contactless lifetime measurement methods applied in industry diagnostics and can be especially useful for multicrystalline silicon characterization.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.