W artykule przedstawiono wyniki badań metoda wiroprądową cienkich warstw metalicznych. Obiektem badania były warstwy przewodzące ze stali chromoniklowej naniesione na podłoze szklane w procesie napylania magnetronowego. Opisano sposób pomiaru rezystywności warstw oraz oceniono możliwość zastosowania tej metody w procesie technologicznym.
EN
The conducting film made by magnetron sputtering process on a glass substructure are investigated. The eddy current method is used for the resistivity measurement of the films. An application of the method in technological process is considered.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.