Przeprowadzono badania wpływu błędu kwantyzacji na wartości parametrów stereometrii powierzchni. Wykonano pomiary struktury geometrycznej powierzchni z wykorzystaniem profilometru optycznego o rozdzielczości pionowej 0,01 nm. Przedmiotem badań było 20 powierzchni izotropowych i anizotropowych, jedno- i dwuprocesowych, losowych i okresowych. Rozdzielczość pionową zmieniano z zastosowaniem programu TalyMap. Przeanalizowano szczegółowo tendencje zmian parametrów stereometrii trzech powierzchni, wywołane błędami kwantyzacji. Wyodrębniono parametry najbardziej i najmniej wrażliwe na błędy.
EN
The effect of the quantization error on values of surface topography parameters was examined. Surface topography was measured using an optical profilometer of 0.01 nm vertical resolution. Twenty isotropic and anisotropic, one- and two-process, random and deterministic surfaces were objects of investigations. The vertical resolution was changed using TalyMap software. Tendencies of changes of three surfaces due to quantization errors were analyzed in details. Parameters of the highest and the smallest sensitivity on errors were selected.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.