Azotki, węgliki i węglikoazotki cyrkonu nanoszono metodą BARE (aktywowane, reaktywne naparowywanie z polaryzacją podłoży). Badano właściwości elektryczne, mechaniczne i strukturalne nanoszonych warstw. Stwierdzono istnienie silnej korelacji pomiędzy napięciem polaryzacji podłoży a twardością osadzanych warstw. Obserwacje mikroskopowe wykazały, że warstwy bardzo dobrze odwzorowują powierzchnię podłoża.
EN
Zirconium nitrides, carbides and carbonitrides layers were deposited by BARE method (Bias Activated Reactive Evaporation). Electrical, mechanical and structural properties of deposited layers were examined. Strong correlation between bias voltage and hardness of the layers was observed. SEM investigations, point on very good mapping between substrate and deposited layers surface.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.