W pracy przedstawiono wyniki badania wpływu ilości domieszki na właściwości trybologiczne cienkich warstw TiO₂:Nd. Cienkie warstwy zostały wytworzone w czystym tlenie, z targetów mozaikowych Ti-Nd za pomocą wysokoenergetycznego procesu rozpylania magnetronowego. Do dalszych badań wybrano cztery serie cienkich warstw domieszkowanych neodymem w ilości 0,8% at., 2,6% at., 3,9% at. oraz 8,5% at. Badania odporności na ścieranie cienkich warstw przeprowadzono za pomocą profilometru oraz mikroskopu optycznego. Wszystkie cienkie warstwy charakteryzują się dobrą odpornością na ścieranie, a najlepszymi właściwościami trybologicznymi cechuje się warstwa z domieszką neodymu w ilości 0,8% at. Badania mikroskopem optycznym pokazały, że podczas testów ścieralności włókna wełny stalowej mogą zostać wtarte w warstwy. Pomiary za pomocą profilometru wykazały, że chropowatość cienkich warstw zwiększa się po przeprowadzeniu testów wełny stalowej.
EN
In this paper the influence of dopant amount on tribological properties of TiO₂ thin films have been shown. Thin films were sputtered in pure oxygen, from mosaic Ti-Nd targets by high energy reactive magnetron sputtering. For the purpose of this work, four sets of thin films doped with 0.8 at.%, 2.6 at.%, 3.9 at.% and 8.5 at.% of neodymium have been chosen for further research. Measurements of resistance for abrasion of thin films were performed using optical profiler and microscope. All thin films are scratch resistant, however the best tribological properties revealed thin film doped with 0.8 at.% of Nd. Studies performed by optical microscope have shown, that during the scratch tests steel wool fibers can be rubbed into the thin film. Measurements performed by optical profiler revealed, that surface roughness of thin films increase after the steel wool tests.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.