Formowanie i wtapianie kontaktów metalicznych, szczególnie do półprzewodników z szeroką przerwą wzbronioną, wymaga krótkich czasów procesu oraz wysokich temperatur. Klasyczne wygrzewanie w piecu oporowym nie spełnia wymagań zaawansowanej elektroniki. Dlatego opracowano i wykonano urządzenie RTA do szybkiej obróbki termicznej. Szeroki zakres temperatur pracy urządzenia (200...1000°C) oraz w pełni programowalny profil temperatury powodują, że jest to doskonałe urządzenie badawcze o szerokim spektrum aplikacji. W urządzeniu zastosowano od 1 do 14 halogenowych promienników podczerwieni o mocy 1,6 kW każdy, promienniki z powłoką tlenku aluminium zwiększającą sprawność przekazywania mocy, reaktor od strony wlotu gazu, zakończony jest specjalną głowicą umożliwiającą jednorodne wymieszanie gazów technologicznych. Szybkie chłodzenie próbki zapewnia podstawa grafitowa o małej masie i wymiarach 30 x 6 x 2 mm.
EN
Post-deposition annealing of a multilayer metallization, for a wide band-gap semiconductors in particular, must be performed in short time and high temperature. Annealing in a classical resistance furnace can not fulfill requirements of the advanced microelectronic devices. This is the reason why we design and set up a rapid thermal annealing (RTA) system. Wide temperature range of the RTA system (200...1000°C) and full-programmable temperature profile caused that this system is dedicated for research and can find wide range of application. The system can be equipped with one to fourteen short wavelength halogen-IR-emitters 1.6 kW each, with integrated alumina ceramic reflector. The application of a reflector increases the efficiency of transfer of IR power. Low mass of graphite susceptor of a dimension 30 mm x 6 mm x 2 mm allows the fast cooling of a sample. The reactor have a specialized input head which allows the uniform mixing of technological gases.
2
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
The structure-phase transformations that occur in TiN/Ti/Si system during pulse photon processing carried out with the incoherent light have been investigated using TEM method. The electrical and optical properties of C49 TiSi2 have been also studied.
PL
Przeprowadzono badania transformacji strukturalno-fazowych, jakie występują w układzie TiN/Ti/Si podczas obróbki impulsowofotonowej światłem niespójnym przy użyciu metody elektronowej mikroskopii transmisyjnej (TEM). Badano również właściwości elektryczne i optyczne C49 TiSi2.
A crucial factor of ever-growing regionalization of the world trade is the lasting negotiation impasse at multilateral level. Finding common ground among all WTO members has proven to be a task beyond their capabilities, consequently, some countries focused their efforts on concluding Regional Trade Agreements (RTAs), which are of a smaller or larger regional range and importance to the global economy. The last group includes the Transatlantic Trade and Investment Partnership (TTIP). This partnership will surely affect not only the world trade flows but also the progress of negotiations in the ongoing Doha Development Round and in consequence the further functioning of the WTO. It is difficult to resist the impression that the TTIP has a different dimension from other, currently formed trading blocs. It mainly concerns the geopolitical context and another case of merging of Western superpowers, which may result in the reluctance of TTIP members to take part in multilateral negotiations for some time, which consequently may negatively affect the ongoing WTO negotiations. The fact that the former superpowers have been overshadowed by the increasingly stronger emerging markets and their lack of political will to conclude the multilateral negotiations do not bode well for the future of the WTO.
В статье рассматривается система факторов, определяющих скоростной режим безопасного движения АТС, представлены подходы к обоснованию скоростных ограничений, проведена оценка целесообразности изменения этих ограничении в условиях современного состояния дорожно-транспортного комплекса России.
EN
A system of factors that determine the speed limit for safe movement of ATS, presents approaches to the justification of the speed limit, assessed whether to amend these restrictions in terms of the current state of road transport system in Russia.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.