Do generacji fal ultradźwiękowych typu Lamba w membranach wykonanych na podłożach krzemowych stosowane są często międzypalczaste przetworniki piezoelektryczne (IDT). Pole elektryczne w warstwie piezoelektrycznej przetwornika ma decydujący wpływ na jego właściwości. Analizowano rozkład pola elektrycznego w cienkich warstwach piezoelektrycznych naniesionych na membrany krzemowe. Na podstawie przeprowadzonej analizy zaproponowano model przetwornika do generacji fal Lamba.
EN
The interdigital piezoelectric transducers (IDT) are used in the microsize membrane silicon sensors to the generation of the ultrasonic Lamb-type waves. The distribution of the electric fields in thin piezoelectric layers deposition on the silicon membranes was analysed.
2
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
Do generacji fal ultradźwiękowych typu Lamba w membranowych mikroczujnikach stosowane są często międzypalczaste przetworniki piezoelektryczne (IDT). Przedstawiono modele przetworników, które mogą być zastosowane do analizy pracy membranowych mikroczujników. Zmodyfikowany model Masona dla przetworników fal objętościowych użyto do modelowania przetworników IDT generujących fale Lamba. Przedstawiono charakterystyki częstotliwościowe tego modelu przetwornika.
EN
The interdigital piezoelectric transducers (IDT) are used in the microsize membrane silicon sensors to the generation of the ultrasonic Lamb-type waves. It was presented the models of piezoelectric transducers, which can be used to analyse the work membrane sensors. Modified Mason's model of bulk waves' interdigital transducers was used for the modelling of generating Lamb waves IDT transducers.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.