Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Ograniczanie wyników

2 2012

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: AlGaN/GaN

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Kontrolowane trawienia plazmą BCI₃/Ar cienkich warstw AlGaN dla technologii tranzystorów HEMT AlGaN/GaN

100%

Kruszka R. , Gołaszewska K. , Taube A. , Sidor Z. , Borysiewicz M. , Żytkiewicz Z. R. , Kamińska E. , Piotrowska A.

2012

tom Vol. 53, nr 9

20-22

Przedstawiono procesy precyzyjnego trawienia cienkiej warstwy AlGaN dla technologii tranzystorów HEMT AlGaN/GaN. Trawienia cienkich warstw AlGaN prowadzono w plazmie dużej gęstości BCI₃/Ar uzyskując szybkości trawienia na poziomie 10 nm/min. Dla metalizacji Ti/Al/Ni/Au najniższą wartość rezystancji kontaktu AI₂₈Ga₇₂N/(Ti/AI/Ni/Au), wynoszące Rc= 1 Ωmm i rc = 2 • 10 ⁻⁵ Ωcm², zaobserwowano dla głębokości wytrawienia ok. 8 nm (nominalnie 15 nm od granicy 2DEG). Badania przewodnictwa elektrycznego techniką C-AFM ujawniły niejednorodności metalizacji kontaktowej w skali nanometrowej z widoczną siecią kanałów dobrego przewodnictwa elektrycznego wokół źle przewodzących ziaren.

Process of recess etching of thin AlGaN films for AlGaN/GaN HEMT technology is reported. The etching was carried out using high density BCI₃/Ar plasma yielding etch rates about 10 nm/min. It is shown, that for Ti/AI/Ni/Au metallization, the minimum contact resistance of a AI₂₈Ga₇₂N/(Ti/AI/Ni/Au) contact, i.e. Rc = 1 Ωmm and rc = 2•10 ⁻⁵ Ωcm² was achieved for the etch depth of 8 nm (corresponding to a nominal distance of 15 nm from the 2DEG). C-AFM conductivity studies revealed nanometer scale inhomo-geneities in the metallization area, with an network of high conductivity channels surrounding large low-conductivity grains.

Determination of the LO phonon energy by using electronic and optical methods in AlGaN/GaN

99%

Celik O. , Tiras E. , Ardali S. , Lisesivdin S. , Ozbay E.

Open Physics

2012

tom 10

nr 2

485-491

The longitudinal optical (LO) phonon energy in AlGaN/GaN heterostructures is determined from temperature-dependent Hall effect measurements and also from Infrared (IR) spectroscopy and Raman spectroscopy. The Hall effect measurements on AlGaN/GaN heterostructures grown by MOCVD have been carried out as a function of temperature in the range 1.8-275 K at a fixed magnetic field. The IR and Raman spectroscopy measurements have been carried out at room temperature. The experimental data for the temperature dependence of the Hall mobility were compared with the calculated electron mobility. In the calculations of electron mobility, polar optical phonon scattering, ionized impurity scattering, background impurity scattering, interface roughness, piezoelectric scattering, acoustic phonon scattering and dislocation scattering were taken into account at all temperatures. The result is that at low temperatures interface roughness scattering is the dominant scattering mechanism and at high temperatures polar optical phonon scattering is dominant.