W pracy skupiono się na optymalizacji kluczowych parametrów procesu ALD w wielkoskalowym reaktorze produkcyjnym o rozmiarze 2200 × 1200 mm pozwalającym na jednoczesne pokrywanie warstwą tlenkową 10 tafli szklanych o grubości 4 mm. Optymalizacji poddano procesy wzrostu warstwy Al₂O₃ oraz TiO₂ jako materiałów charakteryzujących się wysoką odpornością na czynniki środowiskowo klimatyczne.
EN
The influence of the precursor dose of the ALD process on the quality of AR and AS layers used in photovoltaic technologies. The focus of the work was on optimizing key parameters of the ALD process in a large-scale production reactor measuring 2200 × 1200 mm, allowing simultaneous coating of 10 glass sheets, each with a thickness of 4 mm, with an oxide layer. The optimization involved the growth processes of Al₂O₃ and TiO₂ layers as materials characterized by high resistance to environmental factors.
W niniejszej pracy badano zachowanie dwuwarstwowych powłok Al2O3-TiO2, otrzymanych metodą zol-żel na podłożach Ni-Cr-Mo. Prowadzon o badania zmian morfologii powierzchni i jej składu chemicznego w środowisku sztucznych płynów ustrojowych (sztucznej plazmy krwi i sztucznej śliny) za pomocą odpowiednio mikroskopu skaningowego (SEM) i mikroanalizatora rentgenowskiego (EDX). Adhezję powłoki oceniano poprzez scratch-test. Otrzymane wyniki pozwalają sądzić, że powłoki dwuwarstwowe Al2O3-TiO2 stanowią niezwykle obiecujący materiał poprawiający właściwości metalowych implantów, a także interesujący przedmiot dalszych badań.
EN
In this paper behaviour of dual coating Al2O3-TiO2 deposited by sol-gel method on Ni-Cr-Mo substrates has been investigated. Changes of surface morphology and composition in the simulated body and oral fluids have been studied by scanning electron microscopy (SEM) and energy disperse X-ray microanalysis (EDX) respectively. Adhesion of coatings have been evaluated by scratch-test. The obtained results allow to think that dual coatings Al2O3-TiO2 are very perspective material for improvement of metal implants and interesting subject for next studies.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.