W artykule zaprezentowano bazujący na metodzie Particle-In-Cell model numeryczny plazmy w źródle jonów ujemnych. Omówiono wpływ napięcia ekstrakcyjnego na rozkład potencjału i gęstości składników plazmy. Zaobserwowano powstawanie bariery potencjału w pobliżu powierzchni emitującej jony H- , jak również nietypowy (mający dwa maksima) profil gęstości ładunku w ekstrahowanej wiązce jonów H-. Otrzymana na drodze symulacji krzywa prądowo-napięciowa ulega nasyceniu dla napięć ekstrakcyjnych powyżej 20 kV.
EN
A Particle-In-Cell method based numerical model of plasma inside a negative ion source is presented. Influence of the extraction potential on the distributions of potential and plasma components inside the chamber is considered. A potential barrier neart the H- emitting surface is observed, as well as non-typical (characterised by two peaks) profile of the extracted H- beam. A saturation of the calculated current-voltage is observed for extraction voltages above 20 kV.
2
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
The paper presents a modification of the thermal emission Cs+ ion source used for SIMS spectroscopy purposes. The source was modified in such a way that both the positive ion beam (in thermal emission mode), and the negative one (in sputter mode) may be emitted by the source. The mass spectra of both beams are shown and analysed. Also comparison of the secondary ion mass spectra obtained for negative and positive primary ion beams is presented.
PL
Praca prezentuje modyfikację termoemisyjnego źródła jonów wykorzystywanego w spektrometrze SIMS. Konstrukcja termoemisyjnego źródła jonów dodatnich została zmieniona, tak by mogło ono pracować jako źródło jonów ujemnych, przy wykorzystaniu zjawiska rozpylania. Zaprezentowane i omówione zostały widma mas dla wiązki jonów dodatnich i ujemnych. Porównano także widma mas jonów wtórnych dla tarcz bombardowanych wiązką jonów dodatnich i ujemnych.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.