PL
 |
EN
Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl
Ograniczanie wyników
Czasopisma help
  1. 1 Materiały Elektroniczne
Lata help
  1. 1 2001
Autorzy help
  1. 1 Iwaoka H.
Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
1
Content available remote Micromachined silicon sensors
100%
Iwaoka H.
|
2001
|
tom T. 29, nr 1-2
49-60
EN
This paper reviews novel silicon micromachining technology and sensors developed in Yokogawa Electric Corporation. Two types of pressure sensors are described: a highly stable and accurate resonant sensor fabricated using special vacuum encapsulation technology: and an integrated pressure sensor with twin diaphragms and micro over-range protection structures. Also described are silicon bolometers and micro variable infrared filters for infrared spectroscopy of gas analyses and silicon mi-croforce sensors.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.