Przedstawiono badania nowej struktury warstwowej typu: tlenek niklu-pallad w sensorowym układzie z akustyczną falą powierzchniową pod kątem detekcji wodoru w powietrzu. Wykonano strukturę warstwową z tlenkiem niklu (NiOx) 60 nm w technologii reaktywnego rozpylania magnetronowego, pokrytą palladem o grubości 18 nm, wykonanym metodą naparowania próżniowego. Specjalnie zaprojektowany i wykonany układ elektroniczny umożliwia detekcję częstotliwości różnicowej (różnica częstotliwości toru ze strukturą warstwową oraz toru swobodnego bez pokrycia). Przeprowadzono badania oddziaływań takiej struktury z wodorem w powietrzu w zakresie średnich stężeń, nieprzekraczających wartości 2,5%. Dla stosowanej temperatury oddziaływania ok. 35°C stwierdzono maksymalną czułość struktury w zakresie stężeń wodoru pomiędzy 2 i 2,5% w powietrzu. Zmiana częstotliwości (będąca miarą oddziaływania) w tej temperaturze dla ww. stężeń wynosiła około 600 Hz.
EN
Presented are the investigations of a new layered structure: nickel oxide - palladium in a sensor system with surface acoustic wave, from the point of view of hydrogen detection in air. The layered sensor structure was prepared by means of reactive sputtering technology - nickel oxide 60 nm and vacuum deposition technology - palladium 10 nm. The specialised electronic circuit allows detection of the differential frequency (the difference between frequency with layered structure and the free ones). The investigations of such a structure with medium concentrations of hydrogen not exceeding a safety value 2.5% in air has been performed. The maximum sensitivity is detected at the interaction temperature of 35°C - the maximum change in frequency is on the level 600 Hz between 2 and 2.5% of hydrogen.
The paper presents the results of numerical analysis of the SAW gas sensor in the steady and non-steady states. The effect of SAW velocity changes vs surface electrical conductivity of the sensing layer is predicted. The conductivity of the porous sensing layer above the piezoelectric waveguide depends on the profile of the diffused gas molecule concentration inside the layer. The Knudsen’s model of gas diffusion was used. Numerical results for the effect of gas CH4 on layers: WO3, TiO2, NiO, SnO2 in the steady state and CH4 in the non-steady state in recovery step in the WO3 sensing layer have been shown. The main aim of the investigation was to study thin film interaction with target gases in the SAW sensor configuration based on simple reaction-diffusion equation. The results of the numerical analysis allow to select the sensor design conditions, including the morphology of the sensor layer, its thickness, operating temperature, and layer type. The numerical results basing on the code elaborated numerical system (written in Python language), were analysed. The theoretical results were verified and confirmed experimentally.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.