Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Szukaj
Przeglądaj
Pomoc
O nas

Ograniczanie wyników

1 Acta Agrophysica
1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2005
1 2002

2 Beck R. B.
2 Cuch M.
2 Jakubowski A.
1 Bieniek T.
1 Kudla A.
1 Mroczyński R.
1 Wojtkiewicz A.

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Stabilność termiczna ultracienkich warstw tlenko-azotków osadzanych metodą PECVD

100%

Mroczyński R. , Cuch M. , Bieniek T. , Beck R. B. , Jakubowski A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2005

tom Vol. 46, nr 2-3

62-63

Opracowanie poświęcone jest zbadaniu wpływu wygrzewania wysokotemperaturowego na właściwości elektrofizyczne ultracienkich warstw SiOxNy.

The aim of this work is the experimental study of the influence of high-temperature annealing on electro-physical properties of the ultrathin oxynitride layers.

Formation by PECVD of very thin silicon oxynitride [SIOxNy] layers technology and characterisation

100%

Beck R. B. , Cuch M. , Wojtkiewicz A. , Kudla A. , Jakubowski A.

tom 80