PL
 |
EN
Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl
Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
1
Trawienie fosforku indu w plaźmie chlorowej metodą ICP
100%
Ruta Ł. , Turała A. , Kalinowski A. , Fałkowski G. , Besland M.-P.
|
|
tom Vol. 46, nr 2-3
42-43
PL
Artykuł zawiera opis przeprowadzonych badań w zakresie suchego trawienia fosforku indu (InP) metodą indukcyjnie sprzężonej plazmy (ICP) z zastosowaniem plazmy chlorowej (Cl₂ oraz Cl₂/GH₄/Ar).
EN
The article consist short description about experiments of dry etching of indium phosphide by inductively coupled plasma in Cl₂ based plasma.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.