Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Ten serwis zostanie wyłączony 2025-02-11.

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Ograniczanie wyników

2 Karbo

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Temperaturowa zalezność zmian przewodnictwa powierzchnowego cienkich warstw diamentowych HF-CVD

100%

Stec K. , Benzhour K.

tom Nr 4

162-164

W pracy przedstawiono nowe możliwości zastosowania warstw diamentowych jako czujników gazów. Pokazano wpływ różnych warunków otoczenia na zmiany przewodnictwa powierzchniowego różnych warstw diamentowych, co pozwala poszerzyć ich zastosowania. Przedstawiono parametry wzrostu warstw diamentowych niedomieszkowanych, jak również domieszkowanych typu n.

This paper presents new applications of diamond films as gas sensors. It shows the effect of different environmental conditions to changes in surface conductivity of various diamond films, which allows to expand their application. It presents the growth parameters of undoped and doped n-type diamond films.

Growth of high quality diamond films on silicon substrate

80%

Benzhour K. , Nowak L. , Nowak Z. , Rozpłoch F.

tom Nr 4

236-239

Thin polycrystalline diamond films were deposited on prepared (100) Si substrate by hot filament chemical vapor deposition (HF-CVD). For all deposition processes, parameters as: substrate temperature, total pressure and gas flow were held on the same level. One sample was deposited using a method of three-step growth in HF-CVD chamber. Morphology investigations of diamond films using scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy (RS) and electron paramagnetic resonance (EPR) were performed. The EPR analysis revealed the presence of two kinds of paramagnetic centers related to diamond and nan-diamond phase.

Polikrystaliczne warstwy diamentowe były osadzane metodą gorącego włókna z fazy gazowej (HF-CVD) na monokrystalicznym podłożu krzemowym o orientacji powierzchni (100). Temperatura podłoża, przepływy gazów i całkowite ciśnienie gazu były utrzymywane na stałym poziomie podczas wszystkich procesów osadzania. Jedna próbka była osadzana metodą trój stopniowego wzrostu w komorze HF-CVD. Morfologia i jakość uzyskiwanych warstw diamentowych były badane za pomocą elektronowej mikroskopii skaningowej (SEM), spektroskopii ramanowskiej (RS) i elektronowego rezonansu paramagnetycznego (EPR). Badania EPR ujawniły istnienie dwóch rodzajów centrów paramagnetycznych związanych z fazą diamentową i z fazą niediamentową.