Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

1

Recent ad advances in silicon quided-wave MOEMS: from technology to applications

100%

Gorecki C.

Opto-Electronics Review

|

2001

|

tom Vol. 9, No. 3

248-256

EN

We will discuss the recent developments in the field of quided-wave MOEMS, The goal well be to review the processes involved in the fabrication of silicon-based optical wavequides and will proceed to describe and analyse how this photonic technology may be integrated within the MEMS environment. Finally, some examples of optical functions that can benefit by the integration of optical wavequides with MEMS will be described, such as integrated optic switches, integrated optical modulators, micromachined optical sensors, and microprobes for optical near-field microscopy.

2

SMARTIEHS : interferencyjne stanowisko do równoległych pomiarów MEMS i MOEMS

45%

Gastinger K. , Kujawińska M. , Zeitner U. D. , Michael S. , Gorecki C.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2010

|

tom Vol. 51, nr 6

159-161

PL

W artykule przedstawiono nową koncepcję systemów pomiarowych do charakteryzacji urządzeń MEMS i MOEMS rozwijaną w ramach projektu finansowanego przez Unię Europejską pod tytułem "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). Celem projektu jest specjalna kompaktowa konstrukcja wielozadaniowego stanowiska interferometrycznego pozwalającego na bezdotykowe i szybkie wykonywanie pomiarów na badanych obiektach dzięki multiplikacji optycznych kanałów głowic pomiarowych. W projekcie rozwijane są dwa typy głowic pomiarowych. Pierwsza z nich bazuje na konstrukcji interferometru Mireau, a zasadę działania opiera na interferencji światła z obniżonym stopniem koherencji czasowej. Druga głowica jest interferometrem laserowym w konfiguracji Twymana-Greena zbudowany ze specjalnie zamodelowanych struktur dyfrakcyjnych.

EN

Below we present the new approach towards microsystems characterization at wafer level developed under EU project "SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS" (SMARTIEHS). The goal of the project is to provide fast, cost effective and flexible optical inspection system. Two different interferometer approaches are pursued in the project's development process: a refractive optics based Mireau type Iow coherence interferometer and a diffractive optics based Twyman-Green laser interferometer. Below we present the design and the tests of the interferometr Twyman-Green. The multifunctional approach of the laser interferometer measurement concept allows within one instrument to inspect MEMS shape and deformation as well as to characterize a spatial distribution of out-of-plain amplitude of vibration at a resonance frequency. The interferometer architecture require custom designed diffractive optical elements.

3

Numeryczno-eksperymentalna metodyka badania mikrobelek z piezoelektryczną warstwą azotku aluminium

45%

Jóźwik M. , Krupa K. , Gorecki C. , Delobelle P. , Hirsinger L.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2008

|

tom Vol. 49, nr 6

110-111

PL

Badanymi obiektami są mikrobelki utwierdzone jednostronnie wykonane w procesie trawienia podłoża krzemowego. Na ich powierzchni wykonano aktuatory złożone z warstwy azotku aluminium (AIN) usytuowanej pomiędzy dwiema metalowymi elektrodami. Warstwa AIN posiada właściwości piezoelektryczne i pod wpływem przyłożonego napięcia powoduje kontrolowane ugięcie całej struktury belki. W komunikacie przedstawiono metodykę badania parametrów technicznych mikrobelek oraz właściwości warstwy piezoelektrycznej. Metodyka opiera się na połączeniu rozwiązań teoretycznych i symulacji numerycznych z wynikami otrzymywanymi za pomocą metod eksperymentalnych. W badaniach wykorzystane zostało wielofunkcyjne stanowisko interferometryczne przystosowane do pomiarów przemieszczeń pozapłaszczyznowych i kształtu MEMS/MOEMS. Jego zasada działania oparta jest na interferometrii klasycznej z wykorzystaniem metod testowania obiektów w stanie statycznym i dynamicznym. Celem badań jest wyznaczenie jakości i właściwości mikroaktuatorów.

EN

The object of this study were the cantilevers driven by aluminium nitride (AIN) layer. Its piezoelectric properties allow to structure deflection when voltage is applied. In this paper the methodology of the investigation of AIN driven cantilevers performance, operating as MEMS actuators has been presented. The methodology base on the interaction of theoretical and numerical solution from FEM analysis with experimental results. Precise knowledge about static (shape, deformations, stresses) and dynamic (resonance frequencies, amplitude and phase of vibration) cantilever properties are necessary for further applications. Due to its fragility and small sizes non-contact and high sensitive measurement method is required. This paper investigates some of the possibilities offered by Twyman-Green interferometer as a support technique in quality control and cantilevers performance study.

4

Komórka cezowa MEMS dla mikrozegara atomowego

38%

Knapkiewicz P. , Dziuban J. A. , Gorecki C. , Dziuban P. , Walczak R. , Mauri L.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2010

|

tom Vol. 51, nr 6

82-85

PL

Odkrycie efektu koherentnego pochłaniania światła laserowego w parach cezu CPT (Coherent Population Trapping, lata dziewięćdziesiąte ubiegłego wieku [1]) otworzyło drogę do miniaturyzacji cezowych i rubidowych zegarów atomowych. Pierwszy model miniaturowego zegara atomowego przedstawiono w NIST (National Institute of Standards and Technology, USA) w 2004 r. [2, 3], a w listopadzie 2009 r. przedstawiono prototyp takiego zegara firmy Symmetricom (USA) [4, 5]. W Europie prace technologiczne nad takim zegarem trwają od 2002 r. Naukowcy z Politechniki Wrocławskiej (Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki), UFC/FEMTO-ST we Francji, przy współpracy z firmą SAES Getters z Włoch, w latach 2004-2006 opracowali metodę wytwarzania komórek cezowych MEMS z zastosowaniem źródła cezu w postaci ciała stałego.

EN

The CPT effect scientific discovery of laser light absorption in caesium atoms (90' of last century [1]), has opened a way for miniaturization caesium and rubidium atomic clocks. First model of miniature atomic clock has been presented by NIST (National Institute of Standard and Technology, USA) at 2004. In November 2009 Symmetricom (USA) has presented prototype of such atomic clock [4, 5]. Technical works through micro atomic clock are running in Europe since 2002. Scientists form Wrocław University of Technology (Faculty of Microsystem Electronics and Photonics), UFC/FEMTO-ST in France, with SAES Getters (Italy) cooperation, in 2004-2006 has developed new method of MEMS caesium cell fabrication, where solid caesium source place grate role. The basic element of technology of MEMS caesium cell for European micro caesium clock, with usage of solid caesium source, cell dimensions about 1 cm³, stability not worse than 10⁻¹¹ s/1000 h and preliminary tests has been presented in this paper.