Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl
Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 21

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 2 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 2 next fast forward last
PL
Zaprezentowano analizy profilowe struktur laserowych otrzymanych metodą epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) w Instytucie Technologii Elektronowej w Warszawie. Analizy profilowe wykonano metodą spektrometrii mas jonów wtórnych (SIMS), stosując aparaturę SAJW-05 wyposażoną w kwadrupolowy spektrometr mas oraz wyrzutnię jonów Ar⁺. Stosowano wiązki jonów o energiach 880...5000 eV i różnych kątach padania. Badanie warstwy o grubości 8 nm zawierającej ind, na głębokości 1,59 µm struktury, pozwoliło na uzyskanie głębokościowej zdolności rozdzielczej 7 nm.
EN
Secondary ion mass spectrometry (SIMS) depth profile analyses of laser structures grown with the use of molecular beam epitaxy (MBE) were performed on SAJW-05 analyzer equipped with quadrupole mass analyzer and electron bombardment ion gun. Argon ion beams of energies 880 eV and 5 keV and various incidence angles were performed. 8 nm thick indium reach layer buried at a depth ot 1.59 µm of a structure resulted in depth profile resolution of 7 nm.
PL
Przedstawiono zarys historyczny rozwoju technik próżniowych i miernictwa próżni w Instytucie Tele- i Radiotechnicznym. Przedstawiono także kilka nowych konstrukcji urządzeń próżniowych opracowanych w ITR a mianowicie: aparaturę ciśnieniowo – próżniową przeznaczoną do hiperpolaryzacji gazów i stosowania obrazowania w badaniach medycznych, aparaturę przeznaczoną do puryfikacji gazów wydzielanych w procesie wygrzewania minerałów ilastych, zastosowaną do oznaczania wieku minerałów w badaniach geologicznych. Zaprezentowano także nowo opracowane pompy próżniowe jak pompa PJ-25S oraz próżniomierz cieplno-przewodnościowy. Opisano także zakres prac prowadzonych w laboratorium wzorcującym miernictwa próżni – akredytowanym w Polskim Centrum Akredytacji.
EN
A historical outline of vacuum technology and vacuum metrology development at the Institute of Tele and Radio Technology (ITR). Also we present new vacuum equipment design developed in the ITR namely: 1. High pressure and vacuum apparatus designed for hyperpolarization of gases applied for lung imaging. 2. Apparatus designed for purification of gases emitted during process of clay minerals annealing, dedicated for age determination of minerals in geological research. We present also newly developed vacuum pumps as PJ-25S and thermo-conductive vacuum gauge. We describe the scope of work carried out in the vacuum metrology calibration laboratory – accredited by the Polish Accreditation Centre.
PL
Przedstawiono zasadę działania próżniomierza nowego typu, którego zasada działania opiera się na zjawisku transmisji fali dźwiękowej w gazach. Pomiaru ciśnienia w zakresie 8-1000 mbar dokonuje się na zasadzie emisji fali akustycznej i pomiaru natężenia sygnału akustycznego docierającego do odbiornika. Głowica próżniomierza składa się z nadajnika i odbiornika ultradźwięków o częstotliwości 40 kHz, umieszczonych w obszarze mierzonego ciśnienia. Zmierzona wartość sygnału zostaje przetworzona przez mikroprocesor na wartość ciśnienia i wyświetlona na wskaźniku.
EN
Design and construction of a new type vacuum gauge is described. The gauge operation is based on transmission of sound wave in gases. Pressure measurement in range 8-1000 mbar is due to detection of generated acoustic wave. Generator and receiver of 40 kHz wave are applied. Detected signal is processed by a microprocessor and showed on a display.
PL
W artykule opisano próżniową sondę jonizacyjną typu Bayarda-AIperta, opracowaną w Zakładzie Aparatury Próżniowej ITR. W sondzie zastosowano katodę renowomolibdenową. Przeprowadzono analizę parametrów katody pod względem szybkości parowania, trwałości, wartości prądu emisyjnego i temperatury pracy. Porównano właściwości tej katody z katodą wolframową. Stwierdzono większą szybkość parowania katody renowo-molibdenowej. Jednocześnie katoda ta może pracować w temperaturze ok. 150K niższej niż katoda wolframowa przy tej samej wartości prądu emisyjnego, co pozwala zmniejszyć desorpcję termiczną z głowicy.
EN
Ultra high vacuum ion gauge type Bayard Alpert is described. As a cathode, Re-Mo alloy wire was used. Parameters like evaporation rate, lifetime, emission current and working temperature were analyzed and compared to tungsten wire cathode. Higher evaporation rate of Re-Mo cathode was observed, however this cathode works at 150K lower temperature than tungsten cathode yielding the same emission current. It allows to limit thermal desorption from the gauge.
PL
Badano proces usuwania węglowodorów z powierzchni miedzi, glinu i stali z zastosowaniem niskotemperaturowej plazmy nierównowagowej generowanej w wyładowaniu barierowym pod ciśnieniem atmosferycznym. Wyładowanie generowano w argonie lub w powietrzu między elektrodą wykonaną z ceramiki ferroelektrycznej i elektrodą metalową, której powierzchnię pokryto warstwą węglowodoru. Usuwanie warstwy z powierzchni miedzi i glinu jest bardziej efektywne w powietrzu niż w argonie. Usuwanie węglowodorów z powierzchni stali jest tak samo efektywne dla każdego z gazów. Skuteczność usuwania węglowodorów zależy od czasu oddziaływania wyładowania na warstwę węglowodorów. Po usunięciu warstwy badano powierzchnię metali metodą SIMS. Okazało się, że proces usuwania jest skuteczny do grubości warstwy pół mikrometra. Po procesie plazmowym prowadzonym w powietrzu, na powierzchni metalu zostaje jeszcze warstwa węglowodorów o grubości nieprzekraczającej 300 nm dla stosowanej mocy wyładowania.
EN
A process of hydrocarbons eliminating from the surface of Cu, Al and steel applying cold plasma, generated in dielectric barrier discharge at atmospheric pressure, was studied. The discharge was generated between two electrodes in argon or in air. One of the electrodes was made of ferroelectric ceramics and the second one of the metal, which was intentionally covered by thin film of hydrocarbons. In air plasma the film of hydrocarbons is eliminated from the surface of Cu and Al more effectively than in argon plasma. The hydrocarbon film is eliminated from the surface of steel with the same effectivity in both types of plasma gas. The effectiveness of elimination of the film depends on the time of discharge duration. After eliminating of hydrocarbons film the surface of metal was investigated by SIMS method. It was found that the process of film elimination is effective for the thickness of the film, which is limited to a half of micrometer. After plasma process in air the thickness of the remaining film of hydrocarbons reach 300 nm for a given power of discharge.
PL
Zaprezentowano wyniki prac badawczych dotyczących zastosowania spektrometru mas wyładowania jarzeniowego GDMS (glow discharge mas spectrometer) typ SMWJ-01 do analizy składu pierwiastkowego stopów lutowniczych. Celem głównym pracy było wykonanie analizy pierwiastkowej lutowia ze szczególnym uwzględnieniem zawartości ołowiu. Zbadano lutowia typu Sn97C, Sn100C, Sn63Pb37. W artykule zaprezentowano również wyniki analiz lutowi zawierających lit. W zastosowanym spektrometrze GDMS proces analityczny oparty jest na zjawisku wyładowania jarzeniowego, które powoduje trawienie i jonizację badanego materiału. Napięcie przykładane do badanej próbki wynosi -2500 V. Gazem wyładowczym jest argon o ciśnieniu 1hPa. Jako analizator wykorzystywany jest kwadrupolowy filtr mas. Użyty do analiz spektrometr wyładowania jarzeniowego SMWJ-01, opracowany w Instytucie Tele- i Radiotechnicznym, przeznaczony jest do szybkiego i precyzyjnego określenia składu pierwiastkowego metali, stopów metali oraz izolatorów, może być również stosowany do analiz profilowych układów warstwowych.
EN
Results of glow discharge mass spectrometry (GDMS) analysis are presented. Analysed were solder materials: Sn97C, Sn100C, Sn63Pb37. The main aim was to find concentration of lead. Solders containing Li were analysed as well. Glow discharge occurs during the analysis. Argon ions of the glow discharge are etching the surface of the analysed sample. Sputtered material is ionized in glow discharge and the obtained ions are extracted into quadrupole mass analyzer. Glow discharge is generated using 2500 V DC and 1hPa of argon as a discharge gas. GDMS (type SMWJ-01) spectrometer allows to perform quick and quantitative analysis of metals and its' alloys as well as isolators. This analyzer can also be used for depth profile analysis of thin films and layered structures.
PL
Przedstawiono konstrukcję oraz parametry techniczne i metrologiczne spektrometru mas wyładowania jarzeniowego, opracowanego w Przemysłowym Instytucie Elektroniki. Spektrometr ten wyposażony jest w źródło wyładowania jarzeniowego oraz kwadrupolowy spektrometr mas (1...200 j.m.a.). Umożliwia szybką analizę ilościową metali i izolatorów; przeznaczony jest głównie do monitorowania składu wytwarzanych materiałów np. stali oraz stopów metali nieżelaznych z czułością do 1 ppm.
EN
The design of quadrupole based glow discharge mass spectrometer recently constructed in Industrial Institute of Electronics is presented. The analyser is equipped with glow discharge cell and quadrupole mass spectrometer (1...200 amu). It allows elemental quantitative analysis of metals, alloys and insulators with detection limits of 1 ppm. The construction is optimised for industrial applications mainly in metallurgy.
|
|
tom nr 1
109-116
PL
W artykule opisano laboratoryjny zestaw spektrometru mas wyładowania jarzeniowego opracowany i wykonany w Przemysłowym Instytucie Elektroniki w Warszawie. Wyładowanie jarzeniowe jest inicjowane prądem stałym w obecności argonu jako gazu wyładowczego i powoduje rozpylanie jonowe analizowanej próbki. Powstałe jony są analizowane za pomocą kwadrupolowego spektrometru mas. Przedstawiono podstawowe parametry urządzenia i przykłady uzyskanych spektrogramów.
EN
A laboratory model of a glow discharge mass spectrometer with Grimm-type glow discharge ion source and quadruple mass spectrometer has been developed. This spectrometer provides detailed analysis of metals, alloys and isolators at a very attractive price.
PL
Omówiono trzy metody spektrometrii mas: ze źródłem iskrowym (SSMS), jonów wtórnych (SIMS) oraz wyładowania jarzeniowego (GDMS). Porównano rodzaje zastosowanych źródeł jonowych oraz parametry trzech analizatorów znajdujących się w wyposażeniu Przemysłowego Instytutu Elektroniki (SAJW-05, JEOL JMS-01BM2 oraz model doświadczalny GDMS). Zaprezentowano przykłady zastosowań tych metod do badań różnorodnych materiałów, takich jak półprzewodnikowe układy warstwowe InAIGaAs/GaAs, drobiny pyłów atmosferycznych zanieczyszczających środowisko miejskie, stal nierdzewna. Przedstawiono zalety oraz wady poszczególnych metod.
EN
Three methods of mass spectrometry - spark source (SSMS), secondary ion (SIMS) and glow discharge (GDMS) are compared. Types of ion sources are discussed as well as parameters of three analyzers being in use in Industrial Institute of Electronics (SAJW-05 SIMS, JEOL JMS-01BM2 SSMS and laboratory version of GDMS). Examples of analyses show SIMS mass spectrum and depth profile analysis of MOVPE grown multilayer structure, SSMS results of urban aerosol composition and GDMS results of stainless steel. Advantages and drawbacks of each method are described.
PL
W artykule opisano szklaną głowicę jonizacyjną typu Bayarda-Alperta, z katodą renowo-wolframową oraz urządzenie kontrolno-zasilające próżniomierza. Omówiono parametry i właściwości zasilacza oraz właściwości katody renowowolframowej. Niższa temperatura pracy katody renowo-wolframowej niż czystej katody wolframowej (o ok. 180K) przekłada się na większą trwałość katody.
EN
The vacuummeter with a glass Bayard-Alpert gauge is described. As a cathode, rhenium-tungsten alloy wire was used. Parameters of vacuummeter and properties of cathode Re-W were analysed. Lower working temperature of rhenium-tungsten cathode than tungsten cathode (by about 180K) is the reason for its longer life-time.
PL
W artykule opisano laboratoryjną metodę lutowania złączy ceramika-metal w przepustach próżnioszczelnych, na przykładzie wysokonapięciowego przepustu WN10, który jest przeznaczony do wprowadzania napięcia 10 kV do aparatury wysokopróżniowej.
EN
The article describes a laboratory method of brazing of ceramic-metal joints in vacuum-tight feedthroughs, on the example of high-voltage WN10 feedthrough, which is designed for introducing 10 kV voltage into high-vacuum equipment.
PL
Cząstki pyłów i dymów spawalniczych badano stosując technikę trawienia jonowego w spektrometrii mas jonów wtórnych (SIMS). Drobiny były zbierane w trakcie prowadzenia procesów spawania stali trzema różnymi technikami: metodą wiązki elektronowej (E), w osłonie argonowej (TIG) oraz elektrodą otuloną (EO). Badano drobiny o średnicach poniżej 100 μm, zebrane w komorze próżniowej a także o średnicach 300 nm - 400 nm pobrane przez dziewięciostopniowy kolektor pytów typu impaktor w trakcie spawania TIG i EO.
EN
Welding fume particles were analysed using low energy ion erosion in secondary ion mass spectrometry (SIMS). The particles were collected during welding process of steel performed with three different techniques: electron beam welding (EBW), tungsten inert gas welding (TIG) and shielded metal arc welding (SMAW). 300 nm - 400 nm diameter fraction of particles emitted into atmosphere was separated using nine-stage impactor. Ion erosion of particles was performed with 2 keV, 100 μm diameter, Ar+ ion beam. The results show that all three types of particles have core-shell morphology. Particles formed in vacuum (EBW) have shell enriehed in oxygen, fluorine, chlorine, and potassium, with respect to the core composed mainly of iron, chromium and manganese. TIG particles are more oxidised than EBW particles. Chlorine and fluorine dominate in the shell however their concentration in the core is higher than in EBW particles. SMAW particles are oxidised much more than two other types of particles. Shell is reach of chlorides, fluorides and potassium while the core is composed mainly of iron, chromium and manganese oxides.
EN
Depth profile analysis of interfaces between thin silicon oxide layers and two substrates bulk silicon and prous silicon porous silicon were performed. The interfaces were prepared by an electrochemical etching of Si in HF solution and oxidation processes. SIMS depth profiles of these interfaces were performed using ultr-low energy (880eV) and low energy (5 keV) argon ion beams at several incidence angles. The SiO(2)/Si interface regions characterised by SIMS show differences related to the kind of a substrate used. Oxygen depletion region (20 nm thick) was observed on the porous silicon side by SIMS and also by Auger analyses. The depletion formation mechanism is explained on the basis of ion beam induced redeposition of oxygen inside the pores.
EN
The goal of this work was to study nitrogen implantation from plasma with the aim of applying it in dual gate oxide technology and to examine the influence of the rf power of plasma and that of oxidation type. The obtained structures were examined by means of ellipsometry, SIMS and electrical characterization methods.
EN
In this paper differences in chemical composition of ultra-thin silicon oxynitride layers fabricated in planar rf plasma reactor are studied. The ultra-thin dielectric layers were obtained in the same reactor by two different methods: ultrashallow nitrogen implantation followed by plasma oxidation and plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD). Chemical composition of silicon oxynitride layers was investigated by means of X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and secondary ion mass spectrometry (SIMS). The spectroscopic ellipsometry was used to determine both the thickness and refractive index of the obtained layers. The XPS measurements show considerable differences between the composition of the fabricated layers using each of the above mentioned methods. The SIMS analysis confirms XPS results and indicates differences in nitrogen distribution.
EN
Experiments presented in this work are a summary of the study that examines the possibility of fabrication of oxynitride layers for Si structures by nitrogen implantation from rf plasma only or nitrogen implantation from rf plasma followed immediately by plasma oxidation process. The obtained layers were characterized by means of: ellipsometry, XPS and ULE-SIMS. The results of electrical characterization of NMOS Al-gate test structures fabricated with the investigated layers used as gate dielectric, are also discussed.
EN
Aiborne particles were collected in two different environments in Poland - in Legnica, a middle size town situated close to the big copper works and in rural site in the suburs of Krakow. Bulk analysis of particulate matter collected on quartz fiber filte5rs was performed using spark source mass spectroscopy (SSMS). Analysis of aerosol particles from urban and rural environments revealed differences in partial concentration of 20 selected elements. In urban aerosol collected in Legnica we found more: Pb, Cr - 20 times than in the rural environment and As, Sr - 10 times, Co - 7 times, Cl -5 times, V, Y - 3 times, Ti, Mn, Cu, Se - 2 times and Fe, Ni, Zn, Br, Zr, Mo almost two times more than in the rural environment. Secondary ions mass spectrometry (SIMS) depth profile analyses were performed for samples of aerosol particles collected at Al-foils with the use of nine-stage rotating plates cascade impactor. SIMS results obtained with the use of 5 keV Ar(+) ion sputtering show "core-shell" structure of urban and rural particles dependent of their grain size in the range of 300 nm tu 15 um. Ultra fine (300-500 nm dia) rural particles have shell layers enriched in iron and manganese, while such enrichment is observed for coarse (5-10 um dia) urban particles.
PL
Przedstawiono wyniki pilotowych pomiarów dotyczących drobin pyłów zawieszonych w środowisku miejskim. Badania pozwoliły na określenie rozkładów ziarnowych drobin pyłów oraz poznanie składu chemicznego poszczególnych frakcji tych drobin. Pobór pyłów prowadzono przy pomocy kolektorów umożliwiających zarówno pomiar stacjonarny na wybranym stanowisku w środowisku miejskim jak i pobór pyłów w tym środowisku przy pomocy osobistego przenośnego kolektora. Celem była także próba porównania składu pierwiastkowego pobieranych drobin z drobinami pyłów adsorbowanych w układzie oddechowym człowieka. W przeprowadzonym badaniu efektów ekspozycji na pyłowe zanieczyszczenia w środowisku miejskim zastosowano swoistą metodę badawczą, traktującą organizm człowieka jako kolektor - pobór materiału biologicznego (tzw. indukowanej plwociny) od wybranej grupy ochotników. Badania spektrometryczne zebranych materiałów wykonano stosując spektrometr mas ze źródłem iskrowym JEOL JMS-1BM2 i wykazano obecność drobin pyłów osadzających się na ścianach dróg oddechowych. Przeprowadzono analizę mikroskopową tych drobin i porównano ich skład pierwiastkowy ze składem drobin pobieranych w środowisku miejskim za pomocą kolektorów mechanicznych.
EN
Results of pilot studies considering collection and analysis of urban environment micro- and nanoparticles are presented. Particulate matter (PM) is collected from indoor and outdoor urban air with several methods using mechanical collectors like personal cascade impactors and quartz filters. The other applied specific method is treating human organism as a collector - this method is based on identification of PM in biological material - induced sputum, collected from the selected group of volunteers. Elemental analysis of the collected material is performed by spark source mass spectrometry (SSMS) using magnetic sector JEOL JMS-1 BM2 mass analyzer. Obtained results of samples collected using mechanical collectors and extracted from induced sputum were compared.
first rewind previous Strona / 2 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.