Opracowane zostały trzy rodzaje sensorów woltamperometrycznych na podłożach mono-Si. W pracy opisano proces technologiczny ich wytwarzania. Zaprezentowano zdjęcia skaningowe powierzchni Au i AgCl oraz zdjęcia struktur sensorowych. Struktury zostały scharakteryzowane elektrochemicznie w testach redoks.
EN
Three types of voltamperometric chemical sensors have been developed on mono-Si substrates. A process of fabrication is described in the paper. Au and AgCl surface SEM examination together with sensor chip images are presented. Chips have been electrochemically characterized in redox tests.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.