Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Ten serwis zostanie wyłączony 2025-02-11.

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Ograniczanie wyników

1 Acta Physica Polonica A

1 1999

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Structure Changes in Cz-Si Single Crystals Irradiated with Fast Oxygen and Neon Ions

100%

Datsenko L. , Żymierska D. , Auleytner J. , Klinger D. , Machulin V. , Klad'ko V. , Melnik V. , Prokopenko I. , Czosnyka T. , Choiński J.

Acta Physica Polonica A

1999

tom 96

nr 1

137-142

The research of the surface and the near-surface region of Cz-Si wafers irradiated with fast oxygen and neon ions of energy 4 MeV/u and dose 10^{14} particles/cm^{2} is presented. In our study several methods based on the Bragg case of X-ray diffraction using Ag K_{α_{1}}, as well as reflection high-energy electron diffraction and Nomarsky optical microscopy were used. It was shown that implantation with fast neon ions causes larger disturbances of silicon crystal structure than irradiation with oxygen ions.